电子束光刻系统
CABL-AP（50kV）系列

电子束光刻系统
CABL-UH（130kV）系列

投影式光刻机
UX-4系列

高精度晶圆倒角机
CVP-320

单片式清洗设备
CL系列

槽式清洗设备
SCC-300

等离子清洗设备
PC-300

深硅蚀刻设备
RIE-400iPB

ICP-RIE等离子体蚀刻设备
RIE-400iPC

液体原料CVD设备
PD-200STL

等离子体增强型CVD设备
PD-220NL

等离子体强化的ALD设备
AD-230LP