等离子体强化的ALD设备
AD-230LP 卓越的重复性和稳定性
AD-230LP是一种原子层沉积（ALD）系统，能够在原子水平上控制薄膜厚度。有机金属原料和氧化剂交替供给反应室，仅通过表面反应进行薄膜沉积。该系统具有负载锁定室，且不向大气开放反应室，因此能够实现薄膜沉积的优良再现性。
主要特点和优点
- 可以在原子层水平上实现均匀的层控制。
- 可实现高纵横比结构的共形沉积。
- 具有优良的平面内均匀性和再现性，实现了稳定的工艺。
- 采用独特的反应室结构，优化了原料的气路和气体流，抑制了粒子。
- 通过采用电容耦合等离子体(CCP)系统，使反应室体积最小化，缩短了气体吹扫时间，加快了一个循环的速度。
应用
- 氮化膜（AlN、SiN）的形成和低温形成的氧化膜（AlOx、SiO2）。
- 电子设备的闸门绝缘子
- 半导体、有机EL等的钝化膜。
- 半导体激光器的反射面
- 在MEMS等3D结构上的沉积
- 石墨烯上的沉积
- 碳纳米管保护膜粉末涂层
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